【安川電機】【ロボット】SEMISTAR-GEKKO MD124D 販売開始 (20/5/28)

2020年06月15日最新情報

半導体ウエハ、有機EL·液晶·太陽電池用ガラス搬送
5軸水平多関節：SEMISTAR-GEKKO MD124D

・AC サーボモータ「Σ-7 シリーズ」のダイレクトドライブ（DD）モータを搭載した駆動方式を採用
・従来機種より高精度（位置決め精度 従来比 2倍）、低振動（従来機種比 1/6）な半導体ウエハ搬送を実現

＜詳細はメーカーＨＰへ＞